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2024-02-07 发布于四川
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本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114111998A

(43)申请公布日2022.03.01

(21)申请号202110967137.4

(22)申请日2021.08.23

(30)优先权数据

2020-1424

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