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2024-02-07 发布于四川
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激光加工装置(1)具有：激光振荡器(4)，其输出脉冲激光(5)；电扫描器(13X、13Y)，其具有电控反射镜(11X、11Y)，通过电控反射镜(11X、11Y)中的脉冲激光(5)的反射使脉冲激光(5)偏转，并且通过按照位置指令(29a)的控制使电控反射镜(11X、11Y)旋转；fθ透镜(15)，其是具有在电扫描器(13X、13Y)中偏转的脉冲激光(5)所射入的入射区域，对向入射区域射入的脉冲激光(5)进行聚光的透镜；透镜温度测定部(9)，其通过对从入射区域辐射出的红外线进行检测，从而对透镜的温度

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115243824A

(43)申请公布日2022.10.25

(21)申请号202080098150.4(51)Int.Cl.

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