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本实用新型公开了一种隐形切割设备，所述隐形切割设备包括：切割机支架，所述切割机支架构造有基板；切割头，所述切割头安装于所述基板，所述切割头形成有光路且包括镜筒和物镜，所述物镜可升降地安装于所述镜筒；测高探头，所述测高探头安装于所述基板，所述测高探头实时测量所述物镜至晶圆之间的距离，所述测高探头和所述切割头沿切割方向相对晶圆共同运动；随动执行器，所述随动执行器分别连接于所述镜筒和所述物镜，所述随动执行器与所述距离传感器通讯连接，所述随动执行器安装于所述基板，所述随动执行器实时驱动所述物镜升降。根据
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220445414U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321660197.2B23K26/38(2014.01)
(22)申请日2023.06.
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