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2023年分步重复光刻机项目规划设计方案.docx

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    分步重复光刻机项目规划设计方案

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    分步重复光刻机项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z1872概论 3

    30159一、分步重复光刻机项目选址可行性分析 3

    16655(一)、分步重复光刻机项目选址 3

    10887(二)、用地控制指标 3

    7717(三)、节约用地措施 5

    15913(四)、总图布置方案 6

    3252(五)、选址综合评价 7

    30657二、分步重复光刻机项目危机管理 8

    19263(一)、危机预警与识别 8

    2248(二)、危机应对与恢复 10

    1623三、分步重复光刻机项目土建工程 11

    4

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