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面向光纤通信的硅基集成微环探测器的优化设计

摘要：从石器时代到如今的信息时代，世间万物都经历了岁月的洗礼与沉淀。在如今的大数据时代，由于人们对信息容量存储、信息处理速度以及信息传输成本的更高要求，传统电互联的发展已经到达了瓶颈期，光在信号传输上有着自然赋予的优势，以光互联替代电互联是今后的一大发展走向[1]，从而也使得低成本、高度集成的硅基光电子学在近年来有着广阔的发展前景。本文主要针对硅基集成微环探测器的发展现状、组成结构、加工工艺等方面进行探究。虽然硅基微环探测器现如今已经得以在生活中被应用，但是硅材料用于制作硅基微环探测器的主要材料仍然存在一定的局限性，所以我们可以在硅基衬底上用工艺将