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本实用新型提供了一种硅片检测装置，包括硅片运输轨道、硅片检测组件、吹扫组件；硅片检测组件包括：相机组件和第一支架；相机组件通过第一支架装于硅片运输轨道上方的第一位置；吹扫组件包括吹气件和第二支架，吹气件通过第二支架安装于硅片运输轨道上方的第二位置；吹气件上设置有出风口，出风口面向所述硅片运输轨道的运输面；在硅片运输轨道的运输方向上，第一位置位于第二位置之后。通过上述装置对硅片进行检测，避免硅片表面存在杂质导致光学相机误检，提高了硅片检测的良率和产出率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220474573U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202320047839.5
(22)申请日2023.01.06
(73)专利权人一道新能源科技股份有限公司
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