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本发明公开了一种微透镜阵列加工系统与加工工艺，加工系统包括激光光源、快门、半波片、格兰棱镜、偏振片、光阑、平凹镜、第一平凸镜、第一反射镜、空间光调制器、第二平凸镜、第三平凸镜、分色镜、图像传感器、物镜、位移平台。其中，利用空间光调制器对激光光源提供的激光光束进行整形分束，可以形成多束整形激光光束，有效的克服了传统的单光束激光加工方式效率低下的缺点；同时通过多束整形激光光束并行加工的方式，可以在普通玻璃载玻片的表面烧蚀出弹坑阵列，有效简化了微透镜阵列加工工艺流程，从而降低了生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109633796A
(43)申请公布日
2019.04.16
(21)申请号20181
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