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本发明公开了一种承载平台。承载平台包括承载部以及吸附部,吸附部包括第一吸附端,吸附部具有第一吸附端伸至第一承载面靠近芯片的一侧的第一位置、以及回缩至第一承载面背离芯片的一侧的第二位置,吸附部位于第一位置时第一吸附端用于吸附芯片,吸附部位于第二位置时吸附槽用于吸附芯片。第一吸附位于第一承载面靠近芯片的一侧时,吸附部能够独立准确地拾取芯片,第一吸附端回缩至第一承载面背离芯片一侧时,吸附槽能够对芯片提供稳定均衡的吸附力,进而使得芯片被稳定固定于承载平台。本申请的承载平台能够快捷便利地吸附并稳定地吸附翘
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538725A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311399250.2
(22)申请日2023.10.25
(71)申请人矽电半导体设备(深圳)股份有限公
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