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本发明提供了一种基于功能化球形核酸修饰FET生物传感器的检测装置、修饰方法及应用，包括传感器，所述传感器包括Si衬底、保护层、沟道层、栅介质层和接触电极；其中，所述保护层位于衬底上，所述沟道层位于所述保护层上，所述接触电极包括源电极D和漏电极S，所述源电极D和漏电位S于保护层上两侧；本发明通过利用金属氧化物作为栅介质层，以光刻胶钝化隔离接触电极，并以纳米金颗粒修饰栅介质层表面，去除了生物分子对接触电极的功函数调制效应，改进了浮栅型碳基生物传感器的结构，使其传感机制完全由沟道静电掺杂效应主导，大
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538400A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311488001.0
(22)申请日2023.11.09
(71)申请人湘潭大学
地址411102
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