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本公开提供了一种显微扫描的坐标标定方法、装置、显微扫描系统及介质,该方法首先利用导航相机(或第一相机)获取的标定图像算出标定点的像素坐标,然后控制位移系统移动从而使显微相机的视场中心依次与标定物上的各标定点重合,并且每当视场中心与标定点重合时记录此时位移装置的机械坐标,最后依据多个标定点的像素坐标和机械坐标得到坐标标定矩阵,得到显微视场中心和位移装置移动位置之间的转换关系,实现了全自动化的坐标标定过程,无需人工参与和对人员的专业培训,提升了标定效率,并且不会存在人工标定引起的误差,提升了标定精度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117537710A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311490957.4
(22)申请日2023.11.09
(71)申请人青岛海泰新光科技股份有限公司
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