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2024-02-10 发布于四川
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本发明涉及半导体零件加工技术领域，公开一种打侧孔工装及打侧孔方法。打侧孔工装包括限位座、固定件和调节件，限位座和固定件分别用于放置和抵压多个待打孔件，二者通过调节件连接并调节间距，系统化打孔提高适配一致性。将多个待打孔件在限位座上环形阵列摆放，同时将多个待打孔件组合成规则的圆形外轮廓，更好地均匀划分打孔位置；然后在多个待打孔件上方放置一个固定件，固定件同时均匀抵压每个待打孔件，且固定件与限位座能固定安装，避免打孔时打滑偏移；最后将打侧孔工装固定安装于打孔设备，按照待打孔件的组装件预设打孔位置，打

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117531905A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311821268.7

(22)申请日2023.12.27

(71)申请人丽水睿昇半导体科技有限公司

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