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本发明涉及晶圆清洗干燥技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗干燥装置，包括集水槽，所述集水槽的后侧设置有自动盖板，所述集水槽的左侧设置有提升机构，所述提升机构包括移动盒，所述移动盒的内侧固定卡装有晶圆盒，所述集水槽的内侧固定安装有浸水槽，所述集水槽的内壁靠近上端处设置有蒸汽喷淋机构。本发明中设置的提升机构与脱离机构以及蒸汽喷淋机构三者合理配合，在清洗过程中有效避免了晶圆盒与晶圆的接触，并与脱离支撑座配合，使晶圆清洗干燥时，无面与线的接触，最终的清洗与干燥效果更加彻底；同时转动清洁机构的设置，可有效对晶圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542766A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202410021886.1
(22)申请日2024.01.08
(71)申请人山东联盛电子设备
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