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                本发明提供一种传感器装置,其能够在确保在晶体振荡器上的附着物的测量精度的同时缩短频率的扫描周期。本发明的一个方式涉及的传感器装置具有:具有压电元件的传感器部,以及测量单元。测量单元使用通过对压电元件的谐振频率附近进行电扫描而获取的、对压电元件的发送和来自压电元件的接收之间的相关关系,测量在压电元件上附着的物质的质量。测量单元具有控制部。控制部使用从所述相关关系导出的相位或虚部、和与该相位或虚部对应的实部来计算压电元件的谐振频率的半峰宽度,基于计算出的谐振频率的半峰宽度来确定谐振频率的扫描区域。
                    (19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115558891A
(43)申请公布日2023.01.03
(21)申请号202210770521.X
(22)申请日2022.06.30
(30)优先权数据
2021-109925202
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