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本实用新型公开了一种布气装置以及化学气相沉积设备，布气装置，包括：布气组件，布气组件设有均气腔，且布气组件的其中一侧设有多个布气孔，布气组件的另一侧设有多个进气孔，多个布气孔以及多个进气孔均与均气腔连通，其中，多个布气孔和多个进气孔分别位于布气组件相背的两侧；及进气管组件，进气管组件与布气组件连接，进气管组件具有多个出气口，多个出气口一一对应地与多个进气孔连通。布气装置可以初步把气体较均匀地分散在均气腔内，而不至于使得气体集中在均气腔的某一位置，之后，均气腔内的气体可以通过多个布气孔更均匀地扩散
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220468136U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202223453619.7
(22)申请日2022.12.22
(73)专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份
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