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公开了包括微机电镜设备的设备及微机电镜设备。包括微机电镜设备的设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、布置在腔上方并限定窗口的内部框架、具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到内部框架使得可倾斜结构绕第一和第二轴旋转。致动结构具有第一对和另一对驱动臂，第一对驱动臂弹性地耦接到内部框架并承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第一轴旋转，另一对驱动臂承载压电材料区域使得可倾斜结构绕第二轴旋转并插入固定结构和内部框架之间，另一对驱动臂通过第一
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220467578U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202320443633.4G02B26/08(2006.01)
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