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晶圆检测系统.pdfVIP

晶圆检测系统.pdf

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    本实用新型提供了一种晶圆检测系统，包括：光源，光纤传输装置，光源控制开关；所述光源通过光纤传输装置传递光给待检测晶圆；所述光源控制开关包括电磁单元和挡片，在所述晶圆检测系统需要避免所述光源的光传输至所述待测晶圆时，所述电磁单元适于带动所述挡片挡住所述光源的光。本实用新型的技术方案中采用包括电磁单元的光源控制开关，响应速度快，控制准确。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220473396U

    (45)授权公告日2024.02.09

    (21)申请号202321002600.2

    (22)申请日2023.04.27

    (73)专利权人匠岭科技（上海）有限公司

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