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2024-02-10 发布于四川
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本实用新型是关于一种芯片翻转机构，包括：转动外轴、转动内轴、连接杆、真空吸嘴、翻转支板和引导夹板；转动外轴套接在转动内轴外，转动外轴与转动内轴转动连接，且转动内轴的转动角度小于转动外轴的转动角度；连接杆的一端与转动外轴的侧壁固定连接，另一端与真空吸嘴转动连接，翻转支板的两端分别与转动内轴的侧壁和引导夹板固定连接，真空吸嘴位于引导夹板内，引导夹板用于限定真空吸嘴的移动方向。本实用新型提供的方案，实现了晶圆芯片的自动翻转，使得晶圆芯片能够进行自动倒装键合。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220474597U

(45)授权公告日2024.02.09

(21)申请号202322133918.0

(22)申请日2023.08.09

(73)专利权人广东省航瑞智能科技有限公司

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