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本发明提供了一种光电探测器、阵列及终端,该光电探测器包括半导体衬底和形成于所述半导体衬底之上的光学结构;所述光学结构包括光波导和光吸收层;光波导,所述光波导悬浮于所述光吸收层的上侧,所述光波导包括第一段部和第二段部,所述第一段部为光栅结构,所述第二段部为锥形结构,所述光栅结构用于使入射光形成衍射、改变部分光传播方向;光吸收层,所述光吸收层置于所述半导体衬底上,用于吸收透过光栅结构的光线或吸收经过所述光栅结构衍射后的部分光线。本发明提供的光电探测器的的光吸收效率较高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115036377A
(43)申请公布日2022.09.09
(21)申请号202210879924.8
(22)申请日2022.07.25
(71)申请人赛丽科技(苏州)有限公司
地址2
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