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本发明公开了光伏ALD工艺高效上料机及上料方法，涉及到光伏ALD技术领域，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构，所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部；本发明采用双插的工艺生产模式时，使两个第一安装座相向运动，使相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，转运机器人将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中，同时对两个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542778A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202410033611.X
(22)申请日2024.01.10
(71)申请人无锡江松科技股份
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