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本实用新型提供了一种防漏水装置及碳化硅刻蚀设备，涉及碳化硅刻蚀设备技术领域。该防漏水包括接水盘、支撑件和排水组件。接水盘设有用于容纳制冷机的承载空间。支撑件一端连接于接水盘底部以支撑接水盘。排水组件与接水盘连接，且用于在开启状态下排出承载空间的水。本实用新型提供的碳化硅刻蚀设备采用了上述的防漏水装置。本实用新型提供的防漏水装置及碳化硅刻蚀设备可以改善现有技术中容易造成地面积水的技术问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220471989U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202320271988.X
(22)申请日2023.02.21
(73)专利权人通威微电子有限公司
地址61
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