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本实用新型公开了一种蒸镀装置，一种蒸镀装置，包括设置在蒸镀腔室上端中部的基板及下端的蒸镀源，所述蒸镀源周端设置有沿其中心线镜像分布的蒸镀通道调节机构；所述蒸镀通道调节机构包括与蒸镀腔室底侧固接的导向框板，所述导向框板中设置有可沿其内腔上下移动的升降架，所述升降架靠近蒸镀源一侧的上部固接有对蒸镀通道遮挡的角度限制板；本实用新型通过第二电动推杆带动升降架及角度限制板上下移动，调节角度限制板高度，同时角度限制板对蒸镀通道遮挡，使得蒸镀通道与基板尺寸适配，减少镀料的浪费，实现对蒸镀通道自动的调节，减少操
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220468106U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321797919.9
(22)申请日2023.07.10
(73)专利权人江苏英联复合集流体有限公司
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