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本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种真空压力平衡装置，包括抽气管，抽气管的一端连接有抽气机构，抽气管的另一端用于与镀膜箱相连，抽气管远离抽气机构的一端还设有缓冲机构，缓冲机构包括储压桶，储压桶与抽气管相连，储压桶还与镀膜箱相连，且储压桶用于平衡镀膜箱内的气压，本申请改善了传统方式中太阳能电池片生产过程中的镀膜效率不高的问题，能够达到提高太阳能电池片生产过程中的镀膜效率的效果。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220468129U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202322348852.7
(22)申请日2023.08.31
(73)专利权人江苏阳铭互联智能系统有限公司
地
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