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本实用新型提供一种输送系统，所述输送系统包括发料机以及输送单元。通过采用发料机与硅片加工线分离的车间布置形式，并通过输送单元在发料机与硅片加工线之间进行硅片花篮的传输，有效避免采用轨道类输送线的空间占用问题，提升空间利用效率和通行便利性；同时，在后期升级改造时，发料机和加工线进行改造互不影响，且不存在轨道类输送线的调整问题，大大降低改造成本。另外，通过上料模块、第一输送模块以及第二输送模块构建从接收空载的硅片花篮到硅片装载以及将负载的硅片花篮输送出发料机的循环作业，大大提升作业效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220466828U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321044209.9
(22)申请日2023.05.05
(73)专利权人苏州玖物智能科技股份有限公司
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