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本实用新型公开了一种冷热板结构，包括板体、多个定位台阶、多个顶针，定位台阶包括支撑部和挡柱，挡柱为上小下大的圆柱体使得挡柱的周面形成倾斜的引导部，板体的中心位置设有与主机连接的限位传感器，限位传感器的顶端略高于支撑部上表面。工作时，如果晶圆下降后会把限位传感器压下，激发限位传感器发出信息给到主机，则说明晶圆以正确姿态落在支撑部上；如果晶圆下降后未能与限位传感器接触，无法激发限位传感器发出信息给到主机，则说明晶圆未以正确姿态落在支撑部上，主机报警，生产人员从新确认并调整好机械臂传送位置后，生产继续
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220474581U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321826062.9
(22)申请日2023.07.12
(73)专利权人上海至纯半导体设备有限公司
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