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本实用新型提供一种硅片抛光机头吸盘。所述硅片抛光机头吸盘包括有底座:所述底座的顶部开设有漏屑槽,所述底座的顶部固定安装有凹型架,所述凹型架的表面固定安装有控制器,所述底座的顶部固定安装有圆柱,所述圆柱的顶部固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端固定安装有电动伸缩杆;将对应的四个第二承接块调节至适当位置,便于将硅片固定在对应的圆槽内,方便进行加工,将吸取的硅片放入对应的圆槽并位于第一承接块与第二承接块之间,然后反转第三电机,在伸缩弹簧的作用下,可使四个第二承接块进行复位,继而可在对应圆槽内固定不
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220463245U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321355965.3
(22)申请日2023.05.31
(73)专利权人杭州致甸工业有限公司
地址3
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