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2024-02-10 发布于四川
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本发明提出的基板提升机构，包括主体支架，所述主体支架包括多个水平支杆，多个水平支杆相互平行且间隔布置，每个水平支杆包括两个侧壁；齿板，所述齿板的顶部设置有等间隔排布的多个插槽，用以保持多个基板；其中，每个水平支杆的至少一个侧壁安装有所述齿板，水平支杆与齿板之间设置有定位组件。齿板与水平支杆通过定位组件卡合固定，能够提高两者之间的定位精度，降低调试难度，提高安装的可靠性和基板保持的稳定性，避免基板因保持稳定性差倾斜，导致相邻基板部分重叠或接触，影响清洗效果，产生颗粒污染等缺陷。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117542769A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202210917461.XH01L21/67(2006.01)

(22)申请日2022.08.

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