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本实用新型属于离子研磨处理技术领域,尤其为一种用于离子束截面研磨的冷却装置,包括底座、挡板、样品托与调温机构;底座上固定安装有支架;挡板通过调节机构安装在支架上;样品托固定安装在底座上;两个调温机构分别固定连接于挡板与样品托上,调温机构包括散热单元以及置于散热单元表层的加热单元;加热单元包括多个加热器以及将所以加热器相互隔开的隔温框架。本实用新型通过在挡板与样品托上设置调温机构,使得材料的两面都能得到加热单元的加热,降低材料离子束截面研磨时的热效应更明显、稳定;进一步通过隔温框架隔开每个加热单元
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220474564U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321904942.3
(22)申请日2023.07.19
(73)专利权人广州领拓仪器科技有限公司
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