使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器.pdfVIP

使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器.pdf

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在激光器组合件200A、200B的最终倍频级230A、230B中使用包含协作地经配置以产生用于准相位匹配(QPM)的周期性结构的堆叠式四硼酸锶SrB4O7(SBO)晶体平板335‑1、335‑2、335‑3、335‑4的非线性晶体300,以产生具有在约180nm到200nm的范围内的波长的激光器输出光239A、239B。使用一或多个频率转换级220A、220B‑1、221B、222B对一或多个基本激光射束211A、211B进行频率加倍、降频转换及/或求和,以产生具有在约360nm到400nm的范

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117546378A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202280044207.1银英·肖-李E·洛基诺娃

(22)申请日2022.11

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