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烧结助剂、氮化硅基板及其制备方法、应用.pdfVIP

烧结助剂、氮化硅基板及其制备方法、应用.pdf

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    本申请涉及一种烧结助剂、氮化硅基板及其制备方法、应用。烧结助剂包括MgSiN2、稀土氧化物以及氢化锆。将烧结助剂用于氮化硅基板的制备工艺中，可减少烧结助剂中氧杂质的引入，促进烧结致密，有利于提高氮化硅基板的热导率和抗弯强度，而且烧结助剂本身也可以与氧杂质反应，净化晶格，从而可以进一步提高氮化硅基板的热导率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117534485A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202311670934.1

    (22)申请日2023.12.07

    (71)申请人佛山华智新材料有限公司

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