一种镀膜设备.pdfVIP

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本实用新型提供了一种镀膜设备,包括炉管、第一石墨舟、第二石墨舟、支撑组件、第一承舟组件、第二承舟组件、第一电极组件和第二电极组件;支撑组件设于所述炉管内;第一承舟组件和第二承舟组件间隔的设于支撑组件上;第一石墨舟和所述第二石墨舟均放置在炉管内,且第一石墨舟靠近炉管的炉口,第一石墨舟放置在第一承舟组件上,第二石墨舟放置在第二承舟组件上;第一电极组件的一端从炉管的炉尾沿支撑组件延伸直至与第一承舟组件的底部电连接,用于将电极引入第一石墨舟;第二电极组件的一端从炉管的炉尾与第二石墨舟电连接,用于将电极引

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220468145U

(45)授权公告日2024.02.09

(21)申请号202322252002.7

(22)申请日2023.08.21

(73)专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司

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