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一种自动圆形硅片倒片机构.pdfVIP

一种自动圆形硅片倒片机构.pdf

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    本发明提供一种自动圆形硅片倒片机构，包括机架、第一倒片部、第二倒片部和传输装置，第一倒片部和第二倒片部相对隔离的设置于机架上，传输装置贯穿于第一倒片部和第二倒片部，用于传送圆形硅片。本发明的有益效果是解决同节距同规格片篮倒片手动操作的不足并且避免了洁净区域片篮与金属区域片篮产生的金属污染问题，自动圆形硅片倒片机构，使洁净区与金属区片篮的完全隔离，避免洁净区片篮金属沾污，实现稳定高效产出。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109560029A

    (43)申请公布日

    2019.04.02

    (21)申请号20171

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