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微机电装置及其制造方法.pdfVIP

微机电装置及其制造方法.pdf

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    本发明公开了一种微机电装置及其制造方法，该微机电装置包括第一基板、互连层、微机电装置层、停止部件和第二基板；互连层设置于第一基板上，包含交替堆栈的多个导电层与多个介电层；微机电装置层键合在互连层上，包含质量块；停止部件设置在质量块正下方，并与质量块分隔开，停止部件被互连层的一部分包围，且停止部件包含由多个导电层的其中之一构成的底部和设置在底部上的硅基层；第二基板包含空腔，且键合在微机电装置层上。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117534029A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202210915928.7B81B3/00(2006.01)

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