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本发明提供了一种适于微小力测试的减振结构和微小力测试系统，该减振结构包括：机架、第一减振组件和第二减振组件。机架内部具有真空测试空间。第一减振组件包括第一悬挂件和第一框架，第一框架通过第一悬挂件悬挂在测试空间，第一框架适于在悬挂下在垂直方向和/或水平方向上减振。第二减振组件包括第二悬挂件和第二框架，第二框架通过第二悬挂件悬挂在第一框架内，第二框架适于容纳微小力测试设备，第二框架适于在第二悬挂件的悬挂下在水平方向上减振。本发明提供的减振结构可以在水平方向上和垂直方向上分别对受力进行缓冲，简化了振动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117537034A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311589377.0
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人中国科学院电工研究所
地址10
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