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2024-02-10 发布于四川
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一种用于感测流体的浓度或组成的流体传感器，传感器包括：半导体衬底，其包括第一被蚀刻部分；介电区域，其位于半导体衬底上，其中介电区域包括被定位成覆盖在半导体衬底的第一被蚀刻部分之上的第一介电膜；位于第一介电膜内的第一加热元件；以及第二加热元件；其中第一加热元件被布置为热屏蔽第二加热元件，使其免受环境温度变化的影响；其中第一加热元件或第二加热元件被配置为作为温度感测元件进行操作；其中第一加热元件被配置为在恒定温度或恒定电阻模式下进行操作；其中第二加热元件被配置为在恒定电流或恒定电压模式或恒定功率模式

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117546013A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202280044317.8J·C·乔伊斯

(22)申请日2022.06.22

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