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本发明涉及磁控溅射技术领域，尤其是涉及一种磁控溅射用薄壁圆筒工件的夹具及装夹方法。该夹具包括：夹具筒体、夹具底盖和夹具法兰；夹具法兰安装于夹具筒体的上端；夹具底盖安装于夹具筒体的下端；夹具底盖的下端面设有中心通孔，中心通孔的直径小于夹具底盖的下端面的直径。本发明的夹具便于拆卸、安装、装夹，能够有效地减少安装过程对薄壁圆筒工件结构的损坏，保证薄壁圆筒工件与柱靶良好的同轴度，同时也能够对薄壁圆筒工件的外壁起到良好的遮挡，减少人员工作量，提高工作效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115386851A
(43)申请公布日2022.11.25
(21)申请号202211080665.9
(22)申请日2022.09.05
(71)申请人中核四0四有限公司
地址7328
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