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本发明提供一种大气暴晒样品测厚装置及方法，所述大气暴晒样品测厚装置包括辅助定位装置、测厚传感器和多个光束发射装置；所述辅助定位装置具有上开口的放置槽，所述放置槽用于放置样品；所述多个光束发射装置分为两组；两组光束发射装置均安装在辅助定位装置的侧壁上，并且两组光束发射装置的发射光朝向不同，使得两组光束发射装置的发射光在样品表面交汇后形成若干个光交叉定位点；所述测厚传感器用于对光交叉定位点处的样品进行测厚。本发明可以不破坏样品表面状态情况下进行测厚点准确定位，可以保证样品腐蚀减薄速率的准确性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113654506A
(43)申请公布日2021.11.16
(21)申请号202110817532.4
(22)申请日2021.07.19
(71)申请人电信科学技术第五研究所有限公司
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