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本实用新型公开了一种涂胶去边机构，包括支撑台，所述支撑台上表面中心位置开设有移动槽，所述支撑台上表面左侧固定连接有去边箱，所述去边箱左侧内壁中心位置固定连接有可调节去边刀，所述去边箱上侧内壁固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆一端通过轴承转动连接有保护板，所述去边箱一边侧板内壁固定连接有喷气机，所述喷气机上表面固定连接有喷气管，所述喷气管一端固定连接有喷头。本实用新型将晶圆移动到左侧去边箱内，晶圆移动到保护板下方停止移动，启动可调节去边刀接触晶圆边缘，启动第二电动机带动晶圆转动，可调节去边刀对晶
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220491846U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321794564.8
(22)申请日2023.07.10
(73)专利权人宇弘研科技（苏
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