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补偿范围可调的通用化非球面非零位干涉检测装置及方法.pdfVIP

补偿范围可调的通用化非球面非零位干涉检测装置及方法.pdf

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    本发明公开了补偿范围可调的通用化非球面非零位干涉检测装置及方法，所设计的补偿器为球面形透镜，成本低，加工简单；可通过改变可调补偿器中两透镜的距离以改变补偿器的补偿范围，具有更灵活的检测方式和更广泛的应用领域；所用入射光为平行光，且可调补偿器中的透镜有一面为平面，检测光路的对准及设计简单；相较于其他球面形补偿器，具有更大的补偿范围；带有与之相匹配的系统误差校准方法，具有更高的检测精度。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117553702A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311504844.5

    (22)申请日2023.11.13

    (71)申请人北京理工大学

    地址100081

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