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本发明涉及一种具有多个独立电源的静电卡盘，属于半导体工艺器件技术领域，静电卡盘上具有两组以上的吸附区域，每一组吸附区域均包括一个正极区域和一个负极区域；还包括有两个以上的高压电源，每一个高压电源均具有正极输出端和负极输出端；在一组吸附区域中，正极区域和负极区域分别连接至同一个高压电源的正极输出端和负极输出端。本方案将静电卡盘的工作平面划分为了多个相互独立的吸附区域，每个吸附区域连接有一个独立的高压电源，从而当一个吸附区域或其高压电源出现如高压放电等故障、失去吸附能量时，其他的吸附区域仍能够起到吸
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117558675A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311779118.4
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人芯嵛半导体（上海）有限公司
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