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本申请涉及半导体晶片生产技术领域，具体公开了一种抛光液配液桶，包括：配药桶与排气组件；所述配药桶包括桶体与桶盖；所述桶体内设置有降温件；所述桶盖密封盖设于所述桶体上；所述排气组件包括排气管与气体处理器；所述排气管一端连通所述桶体内部，另一端连接所述气体处理器。本方案中，通过降温件可以为配液过程中的桶体降温，可使药液在配药时桶体内温度保持恒定且氯气不易挥发的状态；通过排气组件可以将生成的氯气排出处理，避免造成环境污染以及避免氯气被工作人员吸入。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220478603U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321081924.X
(22)申请日2023.05.08
(73)专利权人广东先导微电子科技有限公司
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