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2024-02-14 发布于四川
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本实用新型公开一种薄膜蒸镀装置，其气化罐与蒸镀箱之间设置有一净化箱、导气泵，净化箱与气化罐之间通过一第一导管连通连接，净化箱与导气泵的进气端之间通过一第二导管连通连接，导气泵的出气端与蒸镀箱之间通过一第三导管连通连接，在净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布，位于活性炭吸附层的上方设置有一通风框，此通风框的内部填充有若干个火山石。本实用新型薄膜

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220485807U

(45)授权公告日2024.02.13

(21)申请号202321230545.2

(22)申请日2023.05.22

(73)专利权人苏州义铠轩电子科技有限公司

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