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调准外延处理中的两个圆形件的装置、方法及外延设备.pdfVIP

调准外延处理中的两个圆形件的装置、方法及外延设备.pdf

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    本发明实施例公开了一种用于调准外延处理中的两个圆形件的装置、方法及外延设备，该装置包括：测量单元，用于测量第一圆形件的周缘与第二圆形件的周缘之间分别在第一圆形件的三个径向上的三个间距；获取单元，用于根据三个间距以及第一圆形件的半径和三个径向相应的三个角度获取第二圆形件的周缘中分别与三个径向相交的三个点的坐标；确定单元，用于根据所述三个点的坐标确定第二圆形件的圆心的实际坐标；计算单元，根据实际坐标以及当第二圆形件相对于第一圆形件处于基准位置时第二圆形件的圆心的基准坐标计算第二圆形件相对于第一圆形件

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117552105A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311825064.0

    (22)申请日2023.12.27

    (71)申请人西安奕斯伟材料科

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