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本发明公开了一种晶圆的检测夹持设备，包括：承载基台，其上转动设有旋转主体；齿环，设于旋转主体上，齿环能够相对旋转主体转动；多个工作臂，设于旋转主体的顶部，多个工作臂在旋转主体的周向上间隔分布，且能够在旋转主体的径向上滑动；工作臂具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态；多个中间单元，设于齿环上，中间单元包括与工作臂联动的摆臂，齿环通过摆臂与工作臂联动；推压单元，设于承载基台上，且位于旋转主体的外周，推压单元包括能够在旋转主体的径向上做直线往复运动的推压块，推压块具有工作位置，当推压块位于工作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117558676A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311839208.8
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人苏州赛腾精密电子股份有限公司
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