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本发明属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测用图像摄取装置及晶圆检测方法。该晶圆检测用图像摄取装置包括支撑机构、转动机构、摄像机构和调节机构。支撑机构包括底座和支撑架；承载台与底座之间通过转动机构连接，承载台能够通过转动机构绕自身轴线转动，转动机构能够限制承载台的转动角度，并且能够使承载台锁定；摄像机构包括相机；摄像机构通过调节机构与支撑架连接，摄像机构能够通过调节机构移动。在相机拍摄晶圆边缘下一个点位时，只需要转动承载台直至承载台无法转动时，承载台即转过设定好的角度，还能够锁定承载台避免承载
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117558658A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311571892.6
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人宁波芯丰精密科技有限公司
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