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本发明的实施例提供了一种单晶硅放肩调整方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：获取单晶硅的棱线宽度数据，将棱线宽度数据输入至训练好的ARIMA模型，确定训练好的ARIMA模型输出的棱线数据的预测结果曲线，基于最小二乘法将预测结果曲线拟合为拟合函数，基于拟合函数，确定单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势，基于单晶硅的预测棱线宽度数据的趋势对单晶硅的处理工艺进行干预。可以保障在调整准确性的前提下提前获得了角度放肩趋势，从而提前介入干预手段，避免了调节角度放肩手段滞后带来的拉速调整不及时，造成断线、位错增
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117552085A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202410038806.3
(22)申请日2024.01.11
(71)申请人苏州晨晖智能设备有限公司
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