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2024-02-14 发布于四川
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一种基于折纸结构的可重构压力传感器.pdf

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本发明公开了一种基于折纸结构的可重构压力传感器，该压力传感器包括水平衬底、V型梁、折纸结构梁、悬臂梁、下极板、电感结构、连接线以及金属挡板。悬臂梁与下极板构成平板电容，当悬臂梁上施加压力时，平板电容的极板间距变化引起电容的容值变化，使得平板电容与电感结构构成的谐振电路的谐振频率发生改变，实现压力检测。通过V型梁锚区施加电流，使V型梁内产生焦耳热引起热膨胀，推动V型梁驱动杆输出位移使折纸结构梁弯曲，进而驱动悬臂梁与下极板交叠面积改变，实现压力灵敏度可重构。进一步增大V型梁锚区电流，使得悬臂梁与金属

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117553941A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311534323.4

(22)申请日2023.11.17

(71)申请人东南大学

地址211102

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