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一种靶材保护装置及离子束沉积系统.pdfVIP

一种靶材保护装置及离子束沉积系统.pdf

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    本实用新型公开了一种靶材保护装置及离子束沉积系统，包括保护壳、保护盖、遮挡盖、传动机构和驱动机构，其中：本实用新型的靶材保护装置，预清洗工作时，在驱动机构的作用下，通过传动机构带动遮挡盖或者保护盖，使得遮挡盖切换至遮挡位可以将窗口完全遮挡住，从而保护安装空腔靶材；当进行沉积工艺时，通过传动机构带动遮挡盖或者保护盖，使得遮挡盖切换至非遮挡位可以将窗口完全暴露，此时靶材暴露作为轰击目标，当进行沉积工艺时。可见，本实用新型可以有效保护靶材防止被污染，保证离子束沉积样品的纯度，还可以提高靶材的利用率，结

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220485810U

    (45)授权公告日2024.02.13

    (21)申请号202322133279.8

    (22)申请日2023.08.08

    (73)专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司

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