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2024-02-14 发布于四川
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压电薄膜制备设备.pdf

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本发明公开了一种压电薄膜制备设备，压电薄膜制备设备包括控制模块、多个功能腔室以及连接于功能腔室之间的基板运送装置；多个功能腔室包括混合室、基板清洗室、旋涂室、加热室和极化室；混合室设置有自动配比机构和搅拌机构，自动配比机构用于将粉末原料和液体原料自动配比以形成前驱体溶液；基板清洗室设置有第一旋转机构以及清洗液喷淋机构；旋涂室设置有第二旋转机构以及前驱体溶液喷淋机构；加热室设置有电加热机构；极化室设置有极化机构，极化机构用于极化压电薄膜；基板运送装置用于将基板在基板清洗室与旋涂室之间、旋涂室与加热

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117560984A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311652593.5

(22)申请日2023.12.04

(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司

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