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2024-02-14 发布于四川
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本发明属于CMP化学机械抛光技术领域，公开了一种新型的抛光布及其制造方法，所述新型的抛光布，包括抛光布本体，其特征在于：所述抛光布本体包括基层和外层，所述基层主要由尼龙纤维丝和碳纤维丝层交错缠绕制成，所述外层为尼龙纤维丝与碳纤维丝间隙中粘接的高分子覆盖层，所述抛光布本体呈圆柱筒状设置，所述抛光布本体的上表面中部开设有供收卷辊契合的圆形通孔，抛光布通过采用纺织和线切割工艺，将抛光布卷制成抛光布圆柱，根据需求线切割成不同厚度，提高了适用范围，并综合各种传统抛光布的优点，搭配不同配方，可适用于各种产品

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117549228A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311742164.7

(22)申请日2023.12.18

(71)申请人上海合晶硅材料股份有限公司

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