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本发明公开了一种微机电系统止回气阀及制备方法。该微机电系统止回气阀包括：基板，第一柔性层位于基板的第一表面；第一柔性层包括第一沟槽、第二沟槽、第一环形软垫和第二环形软垫；第二柔性层位于第一柔性层远离基板的一侧；释放孔至少露出第二沟槽的部分，相邻两个释放孔之间设置有一柔性连接结构，第三环形软垫通过多个柔性连接结构和柔性阀盖连接；柔性阀盖靠近第一柔性层的表面设置有凹槽，凹槽在基板的正投影面积大于第一环形软垫在基板的正投影面积。本发明所设计的微机电系统止回气阀制备方式简单，制造成本低，能够在微小结构中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117553154A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311770151.0
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司
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